镀钛白色镀出来偏黄，模温还往下掉，这啥情况

先说颜色的事。镀钛白我们厂走的是TiN那套，靶材99.9%以上的纯度是底线，杂质一多颜色就发黄发暗。电流密度一般压在0.5–1.0 A/dm²，氩气流量40–60 sccm，偏低靶材溅射不充分也会偏色。模具温度从90掉到70这点不正常，镀钛真空腔里工件本来就不该靠自身散热带那么多温降，你查查腔体夹具的导热是不是松了，或者装夹位置没贴紧。

另外前处理和镀钛色差关系不大，镀钛白对前处理的要求主要是结合力，不是颜色。你那三模连续偏黄，大概率是靶材那一锅到了寿命中后期，或者氩气纯度掉下去了，让外协把最近几炉的工艺记录拉出来比一下。

纯度的事先放一边，你确定你们用的是TiN还是TiAlN？这俩做出来一个偏白一个偏黄，肉眼差别挺大。还有那个模温，真空腔里工件温度主要靠等离子体轰击维持，90降到70的话轰击参数肯定变了，你让外协看看偏压有没有动。

别死磕真空腔那一头。你先把这三模发黄的件拿去做个膜厚测试，如果厚度明显偏厚那就是沉积速率失控了，和温度下降是同一个原因。再测个色差L*a*b*，把数据贴出来，比肉眼看靠谱。