钛靶材利用率做到多少算正常？我这边镀出来颜色发花
我们做的是塑胶模具的型腔镜面区域镀钛，腔体大概有R角，局部深腔比腔口高15mm左右，镀钛厂用得多弧源PVD，靶材纯度标的是99.7%。我这边每次下单送200um的靶材，厂里报利用率60%左右，但我看他们镀完剩下的残靶薄厚不一，有的中间都快穿透了边缘还有3mm+，想问下利用率做到什么水平算合理？60%是不是偏低？
还有个问题，镀完的表面颜色有点发花，同一腔体靠底部的位置偏蓝紫、靠口部偏金黄，肉眼看色差明显但测色仪ΔE在3以内，厂里说属于"干涉色正常偏差"，这说法站得住脚吗？我们客户对颜色一致性卡得挺死的。
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先说利用率，200um的钛靶标称利用率60%在多弧源工艺里算偏低，正常应该能做到70%-80%这个区间。你看靶面烧蚀坑分布就知道了——如果中间穿得厉害边缘还厚厚一层，那就是磁场配置或者电弧扫描轨迹没调好，弧斑在靶面局部反复打同一个位置。跟镀钛厂要一下他们靶材的烧蚀照片，自己就能判断。还有个偷靶材的套路：有的厂把残靶熔了重铸成新靶再用，纯度能掉到99.3%以下，硬度不够，镀层致密性就差，模具用半年就出现麻点。你们可以要求残靶当面称重+拍照留存，别让他们直接拉走。
颜色发花这事儿我站你们客户那边。ΔE 3听起来不大，但干涉色的色差不是简单的颜色深浅，是色相偏移，金黄和蓝紫根本不是同一色系，这种ΔE测出来意义不大，直接目视就能判。你腔体深15mm，底部和口部的等离子体密度肯定不一样，镀钛厂如果只用一组固定的偏压和弧流参数，色差就是这样。让他们在深腔位置加辅助阳极或者局部遮挡，把底部和口部的沉积速率差控制住，重新试一版再谈"正常偏差"。
问一下你腔体的前处理做到什么程度？镜面抛到多少号？镀前清洗用的是什么工艺？我们之前也是镜面区域镀完发花，最后查出来是抛光膏残留没洗干净，清洗槽里丙酮换得太勤，工人偷懒超声波时间从15min压到了5min，腔体R角位置抛光膏糊在里头镀完直接显出来。