影像测量仪精度飘了怎么校？求教各路大佬

5-8μm不算大飘，你先看看光源稳不稳，灯泡老化那个光强一变坐标就偏。

气浮导轨有灰尘吧？擦完光栅再跑标准件，别上来就调软件补偿。

5-8个μm飘这么多先别急着调参数，光栅尺没脏不代表没问题，尺子老化、读数头松动都会这样，特别是二手机用了三四年，导轨磨损和尺面轻微划痕肉眼根本看不出来。 土办法给你几个： 1. 拿一块高精度的量块（最好1级以上的，10mm到100mm各备一块），XY两个方向各测3次以上，看重复性误差能不能控制在2μm以内，重复性差的话基本是机械部分的问题，光栅尺再校也没用。 2. 找一根标准芯轴（圆度0.001以内的），测一下它的圆度和直线度，能直接看出XY轴的垂直度和直线度有没有飘。 3. 用两个1级量块组合起来测一下对角线长度，跟理论值比对，这个能测出阿贝误差。 校准周期的话，二手机建议半年一次全面校准，精度要求高的产品用之前拿标准件复测一下。日常维护注意工作台别有震动，光栅尺别用酒精擦（会破坏尺面镀层），用无尘布蘸点异丙醇轻轻擦就行，镜头那边吹气球吹掉浮尘，别上手摸。

我们用的是花岗石标尺，1小时回零一次，精度一直稳。

兄弟三坐标是雷尼绍的吗？探头直径多少？

影测这玩意本身精度就那样，跟三坐标比没意义，你测啥工件？

标尺块校完只代表量程内线性度OK，真要信得过还得做重复性，标准件测20次看看极差。

先查光栅读数头，再查导轨平行度，最后才是软件补偿，别本末倒置。我们厂里那台每年让计量院来一次，中间自己每个月用标准件点检。

工作台锁紧了吗？这型号的台子松了也会飘。